沸石轉輪吸附+廢氣焚化處理設備
沸石濃縮轉輪的主要成分為高硅鋁比沸石的吸附劑,可利用沸石特定孔徑對于半導體及光電業主要有機污染物(IPA、Acetone、PGME、PGMEA)具高吸、脫附效率的特性,使原本具高風量、低濃度的VOCs廢氣,經沸石濃縮轉換成低風量、高濃度的廢氣,降低后端終處理設備的成本。
杰智取得目前全世界沸石轉輪市占率第一的日本大廠NICHIAS Corporation,臺灣及大陸地區沸石轉輪的代理權,此轉輪產品具有高溫脫附的專利技術,可在>300℃溫度下進行高效率的脫附工作,使高沸點VOCs殘留問題迎刃而解。
廢氣焚化爐
原理圖
沸石濃縮轉輪焚化系統主要是由沸石濃縮轉輪串連熱焚化爐(Thermal Oxidizer:TO、RTO)所組成的高效率VOCs廢氣處理系統,先由沸石轉輪自排入的制程廢氣中吸附VOCs污染物,再以濃縮轉輪脫附而出的高濃度廢氣進入溫度高于1,350℉(732ºC)的燃燒機中進行分子破壞分解。
燃燒處理后的多余熱能將自動運用于預熱進入燃燒機的高濃度廢氣,以及用于提供脫附濃縮轉輪污染物所需的熱氣。蜂巢式(honeycomb)沸石轉輪結構吸附VOCs污染物所產生的壓降相當低,可使風車所需之電力減到最少。由于處理濃縮后的風量僅為進入系統風量的5%到20%,因此可相對縮小焚化尺寸,以維持更低的燃料成本。
專業設計及制造團隊累積多年所超過250套沸石濃縮轉輪焚化系統之實績及經驗,并將整體系統采預組及模塊化設計,使轉輪系統具備了最小的空間需求,且提供了持續性及無人化的操控模式,而少量的更換零組件更確保高度的運轉時間。
產制的轉輪系統當濃縮倍率介于8倍到20倍之間時,能夠達到OCs95%~99%,甚至更高的處理效率。
獨家專利
★具有前后雙風車搭配非偶合平衡風管之揮發性有機廢氣凈化裝置(臺灣新型M310946、大陸新型1015573、韓國新型20-0443443)
★多孔道蜂巢狀吸附轉輪的水洗再生裝置(大陸新型1044099)