沸石轉(zhuǎn)輪吸附+廢氣焚化處理設(shè)備
沸石濃縮轉(zhuǎn)輪的主要成分為高硅鋁比沸石的吸附劑,可利用沸石特定孔徑對于半導(dǎo)體及光電業(yè)主要有機污染物(IPA、Acetone、PGME、PGMEA)具高吸、脫附效率的特性,使原本具高風量、低濃度的VOCs廢氣,經(jīng)沸石濃縮轉(zhuǎn)換成低風量、高濃度的廢氣,降低后端終處理設(shè)備的成本。
杰智取得目前全世界沸石轉(zhuǎn)輪市占率第一的日本大廠NICHIAS Corporation,臺灣及大陸地區(qū)沸石轉(zhuǎn)輪的代理權(quán),此轉(zhuǎn)輪產(chǎn)品具有高溫脫附的專利技術(shù),可在>300℃溫度下進行高效率的脫附工作,使高沸點VOCs殘留問題迎刃而解。
廢氣焚化爐
原理圖
沸石濃縮轉(zhuǎn)輪焚化系統(tǒng)主要是由沸石濃縮轉(zhuǎn)輪串連熱焚化爐(Thermal Oxidizer:TO、RTO)所組成的高效率VOCs廢氣處理系統(tǒng),先由沸石轉(zhuǎn)輪自排入的制程廢氣中吸附VOCs污染物,再以濃縮轉(zhuǎn)輪脫附而出的高濃度廢氣進入溫度高于1,350℉(732ºC)的燃燒機中進行分子破壞分解。
燃燒處理后的多余熱能將自動運用于預(yù)熱進入燃燒機的高濃度廢氣,以及用于提供脫附濃縮轉(zhuǎn)輪污染物所需的熱氣。蜂巢式(honeycomb)沸石轉(zhuǎn)輪結(jié)構(gòu)吸附VOCs污染物所產(chǎn)生的壓降相當?shù)停墒癸L車所需之電力減到最少。由于處理濃縮后的風量僅為進入系統(tǒng)風量的5%到20%,因此可相對縮小焚化尺寸,以維持更低的燃料成本。
專業(yè)設(shè)計及制造團隊累積多年所超過250套沸石濃縮轉(zhuǎn)輪焚化系統(tǒng)之實績及經(jīng)驗,并將整體系統(tǒng)采預(yù)組及模塊化設(shè)計,使轉(zhuǎn)輪系統(tǒng)具備了最小的空間需求,且提供了持續(xù)性及無人化的操控模式,而少量的更換零組件更確保高度的運轉(zhuǎn)時間。
產(chǎn)制的轉(zhuǎn)輪系統(tǒng)當濃縮倍率介于8倍到20倍之間時,能夠達到OCs95%~99%,甚至更高的處理效率。
獨家專利
★具有前后雙風車搭配非偶合平衡風管之揮發(fā)性有機廢氣凈化裝置(臺灣新型M310946、大陸新型1015573、韓國新型20-0443443)
★多孔道蜂巢狀吸附轉(zhuǎn)輪的水洗再生裝置(大陸新型1044099)