沈陽半導體工廠凈化車間廢氣方案

  關鍵詞：凈化車間廢氣，半導體廢氣凈化

  半導體在生產過程中產生的廢氣需要處理，但是他們對廢氣處理設備和廢氣處理工程的專業性要求都非常的嚴格，經過多方比較，靜電冷凝分離器采用相同的原理，可以攔截和清除廢氣流中的揮發性有機化合物（VOC）。

  半導體行業使用了全氟化碳，它具有極高的全球暖化潛勢，因此需要進行高效的廢氣處理。將不同的氣體結合并輸送到工廠的中央廢氣系統中，可能會產生具有高易燃性與高爆炸性的氣態混合物，有時，這在過去會導致整個生產設施的完全報廢。在氣體內包含的顆粒物還可能會造成排氣裝置堵塞。

  為了消除這些風險，需要在立即減少有害廢氣的“使用點”（POU）對工藝過程廢氣進行處理。可以由燃燒/水洗系統、氣體洗滌器和靜電過濾器成功做到這一點。